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芯明天壓電精瞄鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運(yùn)動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P22系列

運(yùn)動自由度：θx

光束偏轉(zhuǎn)范圍：8mrad

分辨率：0.1μrad

空載階躍時間：0.8ms

P33系列

運(yùn)動自由度：θx θy

光束偏轉(zhuǎn)范圍：27mrad

分辨率：0.02μrad

空載階躍時間：1ms

P34系列

運(yùn)動自由度：θx θy

光束偏轉(zhuǎn)范圍：12mrad

分辨率：0.02μrad

空載階躍時間：1ms

P31系列

運(yùn)動自由度：θx θy

光束偏轉(zhuǎn)范圍：50mrad

分辨率：1μrad

空載階躍時間：3.2ms

P35系列

運(yùn)動自由度：θx θy 

光束偏轉(zhuǎn)范圍：50mrad

偏轉(zhuǎn)分辨率：1μrad

空載階躍時間：0.88ms

P32系列

運(yùn)動自由度：θx θy Z

光束偏轉(zhuǎn)范圍：12mrad

直線行程：40μm

偏轉(zhuǎn)分辨率：0.05μrad

直線分辨率：0.5nm

空載階躍時間：2ms

P36系列

運(yùn)動自由度：θx θy Z

光束偏轉(zhuǎn)范圍：1.6mrad

直線行程：12μm

偏轉(zhuǎn)分辨率：0.02μrad

直線分辨率：0.1nm

空載階躍時間：0.5ms