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芯明天致力于納米級精密定位與運(yùn)動產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，已經(jīng)發(fā)布了多種用于顯微計(jì)量學(xué)的掃描控制系統(tǒng)解決方案，包含高精密快速掃描的壓電納米定位臺及小體積數(shù)字式伺服控制器。

P78.Z100壓電顯微樣品臺

P78系列壓電顯微樣品臺可以帶動樣品以亞納米級分辨率進(jìn)行高速掃描與定位，是顯微計(jì)量學(xué)和高分辨率顯微鏡應(yīng)用的重要功能。配置閉環(huán)傳感器，對位移實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實(shí)現(xiàn)納米級精密控制及超高線性度和穩(wěn)定性。無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)確保實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)、高剛度及毫秒級響應(yīng)時(shí)間，緊湊的外形結(jié)構(gòu)易于集成到顯微儀器設(shè)備中。

特性

· 一維Z軸運(yùn)動

· 運(yùn)動行程100μm

· 閉環(huán)SGS傳感器

· 分辨率可達(dá)4nm

· 通孔尺寸120×70mm

· 空載階躍時(shí)間5ms

· 空載諧頻200Hz

· 承載能力1kg

· 外形尺寸：154×136×25mm

E53.D數(shù)字式伺服控制器

與傳統(tǒng)的控制器相比，數(shù)字式伺服壓電控制器具有更高的線性度，操作簡單以及易于控制的優(yōu)點(diǎn)。E53系列控制器，體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，且提供了快速響應(yīng)的實(shí)時(shí)修正，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度，從而實(shí)現(xiàn)納米定位臺精確、穩(wěn)定的運(yùn)動。

特性

· 一通道 閉環(huán)控制

· 0~120/150V輸出

· 平均電流60mA

· 放大器帶寬10kHZ

· 通信接口：USB/RS-422/RS-232

· 重量：350g

· 外形尺寸：148×27.5×80mm