P33系列壓電偏轉鏡用于高頻激光加工
在涉及到微米級小孔的超快激光加工應用中集成壓電偏轉鏡，具有加工精度高、加工速度快等特點。已廣泛應用于航天器件微小孔加工、異形孔加工等領域。
P33.T8S系列壓電偏轉鏡是具有快速響應且體積緊湊等特點的偏轉平臺，提供頂端面的高精度角度運動，與其他執(zhí)行器相比，柔性鉸鏈導向的壓電偏轉平臺可提供更高的加速度，使階躍響應時間在亞毫秒范圍。P33.T8S在10mrad滿行程工作頻率達50Hz，可連續(xù)工作15天。
特點
• 二維θx、θy 偏轉
• 偏轉范圍可達12.5mrad
• 亞毫秒響應時間
• 閉環(huán)定位精度高
• 溫度穩(wěn)定性高
高動態(tài) 閉環(huán)精度高
在機械結構的合適位置采用應變傳感器來得到高穩(wěn)定性及定位精度，他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質的穩(wěn)定性。
技術參數(shù)
型號：P33.T8S
運動自由度：θx、θy
行程范圍（0~120V）：10mrad（≈2060”）/±5mrad(≈±1030”)
行程范圍（0~150V）：12.5mrad（≈2500”）/±6.25mrad(≈±1250”)
閉環(huán)傳感器：SGS
閉環(huán)分辨率：0.5μrad(≈0.1”)
閉環(huán)線性度：0.25%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.02%F.S.
空載諧振頻率：3.1kHz
閉環(huán)空載階躍時間：8ms
靜電容量：14.5μF/軸
材質：鋼
重量：340g
