P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺*樣品校準應(yīng)用的要求，45mm×45mm的大孔徑允許直接將物鏡放置在樣品下面。集成閉環(huán)反饋傳感器，保證長期高精度樣品調(diào)整，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運動無耦合。

產(chǎn)品特性

· 三維壓電式樣品定位臺
· 中心通孔45mm×45mm
· 定位精度高
· 運動范圍可達X250/Y250/Z100μm
· 快速響應(yīng)

閉環(huán)定位精度高

P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調(diào)整電壓修正位移，從而實現(xiàn)高精度定位。

帶載階躍時間

P12A.XY2Z100帶載100g，滿行程階躍時間60ms。

技術(shù)參數(shù)

型號：P12A.XY200Z100S

運動自由度：XYZ

行程范圍（0~120V）：XY200/Z80μm

行程范圍（0~150V）：XY250/Z100μm

閉環(huán)傳感器：SGS

閉環(huán)分辨率：XY13/Z7nm

閉環(huán)線性度：XY0.1/Z0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：XY0.05/Z0.1%F.S.

空載諧振頻率：XY240/Z150Hz

承載能力：500g

靜電電容：XY7.2/Z1.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁