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P60.Z250為一維Z向運動壓電納米定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。機構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)Z向250μm位移。壓電定位臺具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可達納米量級，定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。平臺可選真空兼容版本，平臺中的部件均適合于真空應(yīng)用，真空度可達1×10^(-5)mbar。

閉環(huán)版本定位精度高

P60.Z250可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進行實時檢測反饋，配置芯明天閉環(huán)壓電控制器可實時對位移進行精密調(diào)整，實現(xiàn)納米級的精密定位控制及優(yōu)異線性運動和穩(wěn)定性。

產(chǎn)品特點

• 一維Z向運動

• 行程可達250μm

• 承載可達1kg

• 可選真空兼容版本

應(yīng)用

• 計量/干涉/ 掃描

• 納米定位

• 光盤驅(qū)動測試

• 半導(dǎo)體技術(shù)

• 質(zhì)量保證測試

• 微加工/精密控制

技術(shù)參數(shù)

型號：P60.Z250

運動自由度：Z

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）：200μm

行程范圍（0~150V）：250μm

傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：10/3nm

閉環(huán)線性度：0.4%F.S.

重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

空載諧振頻率：260Hz

承載能力：1kg

靜電容量：21.6μF

工作溫度范圍：-20~80℃

材質(zhì)：鋼、鋁

重量（不含線）： 0.4kg

真空度：1×10^(-5)mbar

外形尺寸（長×寬×高）：80×60×20mm

出線長：1.5m