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P06.2000SA10是芯明天A型系列機構(gòu)放大式壓電促動器的其中一款大行程產(chǎn)品，采用放大機構(gòu)設(shè)計，將預載的壓電陶瓷疊堆產(chǎn)生的位移進行放大輸出。它產(chǎn)生的位移方向為X向收縮，行程可達1900μm，閉環(huán)重復定位精度可達0.15%F.S.。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點

行程可達1900μm

重復定位精度可達0.15%F.S.

納米級分辨率

配備閉環(huán)傳感器

真空版可選

產(chǎn)品應(yīng)用

視光學：探針掃描、光學透鏡的定位、光開關(guān)、快門/快門防抖、微掃描、晶片測試、天文學、聚焦定位、激光腔調(diào)諧、光纖的耦合和形變、FBG（光纖布拉格光柵）的形變、斬波器、干涉儀、PDP晶體切割、調(diào)制器等。

機械學：光纖拉伸、工具定位、取放工具、金剛石車削、橢圓活塞加工、阻尼、動態(tài)控制、新一代超聲波或聲波振動、NDT、器件疲勞度監(jiān)測等。

流體學：比例閥、泵、測流技術(shù)、噴墨技術(shù)、注射器、液滴發(fā)生器等。

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E53.D系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動P06.2000SA10機構(gòu)放大式壓電促動器。E53.D是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的單通道壓電陶瓷控制器。帶寬可達10kHz，供電電壓24VDC1.5A。外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量約為350g，機身帶有散熱區(qū)域，可迅速導出產(chǎn)生的熱量，上位機軟件支持二次開發(fā)，體積小巧，易于集成。

芯明天多種類機構(gòu)放大式壓電促動器