壓電掃描管是可以XYZ三維運動的壓電陶瓷管,用于三維微掃描與定位,如AFM原子力顯微鏡等。
工作原理:
壓電掃描管掃描器為壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個電極、 內(nèi)壁一體或者分區(qū)電極的壓電陶瓷管,當外部施加一個正電壓到某 一個區(qū)域時,陶瓷管垂直方向收縮,使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾 斜,同時施加電壓會使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。
壓電掃描管尺寸范圍:
外徑
壁厚
高度
1.524mm
0.254mm
2.54mm
3.175mm
0.3048mm
0.381mm
3.175mm至 76.2mm
6.35mm
0.508mm
9.525mm
0.762mm
技術(shù)參數(shù):
型號
長 [mm]
外徑 [mm]
壁厚 [mm]
zui大電壓 [V]
掃描范圍 [μm]
Z軸位移 [μm]
靜電容量/ 分區(qū)[nF]
1005
10
5
0.66
264
3.8
2.1
3
1206
12.7
6.35
0.635
254
4.8
2.7
4
2005
20
15
4.2
6
3306
33
0.508
203
32
7
8
3507
35
39
7.4
5009
50.8
9.5
52
17
7312
73.66
12.62
0.89
356
82
28
應(yīng)用:
• 顯微鏡掃描器 • 光纖拉伸 • 光束掃描 • 光纖掃描
17051647888
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