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產(chǎn)品分類Product categories

[詳細(xì)資料]

1.二維XZ向壓電納米定位臺特性

• 1~3維自由組合 • 位移行程8μm • 亞毫秒響應(yīng)時間 • zui大承載0.5kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級

外觀形狀	產(chǎn)品運(yùn)動示意圖	直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動示意圖

小體積、高精度、響應(yīng)速度快

傳感器類型

頻率負(fù)載曲線

P63系列壓電納米定位臺zui重要的特點(diǎn)是超級精密且體積非常小巧，P63.XZ二維的尺寸僅為30×30×33mm（X軸尺寸為30×30×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有超低慣性，響應(yīng)時間可達(dá)0.3ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

2.二維XZ向壓電納米定位臺應(yīng)用

• 光纖端面檢測 • 納米壓印 • 納米計(jì)量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制

應(yīng)用實(shí)例：納米切削

P63三維納米定位臺已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺切削力測試實(shí)驗(yàn)中。

二維XZ向壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)

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